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  • 高真空油扩散泵机组是利用高速和定向流动的油蒸汽喷射流抽气的真空泵。油扩散泵必须与前级真空泵配合使用,并且需要在达到一定的前级真空条件下开启,油扩散泵极限真空可达到10-7mbar(绝对压力)。

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